微电子工艺中的清洗技术
来源：UC论文网2016-06-04 16:35
摘要：
在当前电子工艺的发展尤其是微电子方向的文展使得微电子工艺中的清洗技术也变得越来越仝重视起来.微电子工艺受各方面条件 影响因而会在其中产生丨诚多的污染物，并且这些污染物
工业革命的推进使得更方面技术的全面发展从而加快了社会的进步人类的进程。先进技术和设备的不断发明发现开始在人们生活中占据了越来越重要的地位，而电子设备也在逐渐朝着微型科技的方向发展。微电子工艺在当前人们的生活工作环境中运用的非常广泛，因此也占有着十分重要的地位c用此而来的关于微电子工艺中的清洗技术也就更加受人们关注了。因为良好的清洗技术能更好的保障电子产品的持续使用性及其功能完善性，因此良好的清洗技术将对微电子工艺带来极其重要的影响。
一、微电子工艺中的清洗技术的概况以及现状
(一）微电子工艺中清洗技术的概况
微电子工艺的制造流程其实是相对比较复杂的，其中步骤众多’毕竟是在生产制造，所以每一个环节都会出现一定的对电子元器件的污染。而这些污染物通常通过物理吸附或者是化学吸附的方法开吸附在元器件表面，这就是对于微电子工艺流程中的污染主要来源。因此对已微电子工艺中的清洗技术也就显得尤为重要，合理的清洗掉污染物才能更好的保证微电子元器件的合理运转最终达到预期效果。
而在微电子工艺中的清洗技术就主要分为了湿法清洗和干法清洗。这两种方法在不同的材料和不同的环境中都各有着自己的优势，选择合适的清洗方法才能最大限度的达到一个较高的清洗度，以良好的保障尽可能的去除掉了微电子元器件中的污染物和各种杂质，对整个电子设备的质量都有了一t更好的保障。
(二）微电子工艺中清洗技术的现状
随着工业技术的发展，电子行业也在不断完善和进步。其中微电子;Qlk就在近些年来取得了非常巨大的成就。因此，微电子工艺中的清洗技术作为微电子工业中的_个重要环节也会随之不断发展和完善着。尽管如此，还是必须要承认当前的清洗技术较为落后，可能出现的问题地方还是有很多的。
当然上述所说的湿法清洗和干法清洗依旧是目前微电子工艺中清洗技术的主流方向。其中湿法清洗技术主要利用相应的化学溶剂以及有机溶剂来与污染物进行一个化学反应，再通过各种合适的方式去污’从而达到对整个微电子元器件的清洁目的。在整个技术工序中，则需依次使用多种化学试剂，并在每一道工序中，都进行_个严格的控制包括温度、浓度以及反应时间等因素。按照计划规范的操作才能更严密的保证清洗工作的有序进行，在完成了清洗目的的同时还能保证不损害到电子元器件。因此虽然清洁的效果其实非常明显也良好，但却随时有损坏到电子元器件的风险。
但干法清洗就能够很好的避免这种情况的发生。其实干法清洗技术其实就是相对于湿法清洗技术的，它的清洗工序中一般都不会采用溶剂。主要是以等离子体清洗技术为主。使用该技术能很好的达到一个清5先技术效率高，并且污染小、对被清洗物体损害低的最终效果，有效的保证了微电子元器件的质量，不过还是要再加上一道清洗工序来去除金属氧化物相对较为麻烦一点。
二、微电子工艺中的清洗技术的重要性以及展望
(一）微电子工艺中清洗技术的重要14
在微电子工艺中，之前已经说过了会因为生产过程中出现一定的污染。而电子行业本就是一个非常精密的行业，因此任何的一点纰獅可能发生严重的意外。而面对微电子行业，这样的污染将会生更大的影响也就有可能带来巨大到无可弥补的损失。因此不论微电子工艺中的清洗技术不论有多难多复杂都必须要进行严格的清洗才能保证每一个元件都正常运行，这才是对人民生命财产安全的真正负责。
(二）微电子工艺中的清洗故术展望
而实际上，在对微电子元器件的清洗过程当中，微电子原件上的污物必须不能超过500个脯xO.12呼，否则就会影响到微电子原件的质量，从而甚至引起一些不必要的损失。
而面对着在微电子工艺中，制造流程的复杂，周期冗长，因此在上百个步骤中完全肯呢个吸附到大量的污染物。而在微电子制造工艺中，其中因为任何一道工序所携带上的污染都很有可能使得元器件失效作废，从而造成一个比较巨大的损失，因此，微电子工艺中的清洗技术的存在是非常有必要有市场的，它的存在才能使得微电子工艺有了更好的保障，让整个电子产品有了更好的保障。所以对于微电子工艺中的清洗技术的必要性就不需要再强调7,有了良好的市场很极大的存在必要，这样的产业就具有了非常多的可能。
但面对社会的激烈竞争，只有做到更好才能更长时间的停留在市场中，因此微电子工艺清洗技术在未来不仅要满足微电子元器件的表面洁净需求，而且更要简化操作工序，P牵低操作难度，同时还能达到相应的清洗度,避免微电子元器件因受到试剂腐蚀而导致质量下降甚至是损坏。因lit,随着微电子制备工艺额不断发展，与之密不可分的微电子工艺清洗技术也一定会得到迅速的发展，甚至在未来成为一个完整的流程系统。
三、结束语
随着电子工业的不断发展并且在想微型化方向发展，微电子工艺中的清洗技术就显得越来越重要了。之前所说过的关于微电子工艺中各个方面的影响使得在制造流程中不得不沾染上一定程度的污染物，而在携带了这些污染物的电子元器件将会在极大程度上影响其质量。因此良好的清洗效果并且不损坏元器件的清洗技术就显得尤为重要和关键了。
贾松 (河北普兴电子科技股份有限公司，河北石家庄050000)
